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Y2O3 COATING 기술
QUARTZ 표면에 Y2O3 박막을 COATING하는 기술로 QUARTZ의 PLASMA 내성을 수배 이상 강화시킨 기술입니다.투명박막 COATING으로 기존의 QUARTZ 특성을 그대로 유지할 수 있어 각종 WINDOW류에 적합하며 PLASMA ATTACK에 의한 QUARTZ 표면 손상을 최소화할 수 있습니다.  Fig. Cross-Sectional view of Y2O3 coating Fig. Plasma etched (a) Y2O3 and (b) quartz glass on quartz glass substrate.  Fig. SIMS analysis results for Y2O3  Fig. Performances of Y2O3 coating |